ALD / CVD前驱体系列产品
高纯ALD/CVD前驱体产品是整个电子工业体系的核心源材料之一，其被广泛应用于电脑芯片、太阳能电池、移动通讯等电子器件制造的诸多方面，在新型太阳能电池、电子产品等领域发挥着巨大作用。
六氯乙硅烷
Cl6Si2
≥99.999995%
四乙氧基硅烷
C8H20O4Si
≥99.9999999%
八甲基环四硅氧烷
C8H24O4Si4
≥99.999999%
四甲基硅烷
C4H12Si
≥99.99999%
硼酸三乙酯
C6H15BO3
≥99.9999999%
磷酸三乙酯
C6H15O4P
≥99.9999999%
四(二甲胺基)钛
C8H24N4Ti
≥99.9999%
四氯化钛
Cl4Ti
≥99.99999%